コバヤシ　タカシ   KOBAYASHI Takashi   小林 隆    所属   専修大学  ネットワーク情報学部    職種   教授
取得国	国内
出願番号	P62-004824
公開番号	P63-174330
特許名	半導体ウエハ観測用走査型電子顕微鏡装置