コバヤシ タカシ   KOBAYASHI Takashi
  小林 隆
   所属   専修大学  ネットワーク情報学部
   職種   教授
取得国 国内
出願番号 P61-284311
公開番号 P63-141250
特許名 半導体観察用走査型電子顕微鏡装置