コバヤシ　タカシ   KOBAYASHI Takashi   小林 隆    所属   専修大学  ネットワーク情報学部    職種   教授
取得国	国内
出願番号	P62-033254
公開番号	P63-201510
特許名	半導体製品の電子顕微鏡画像における三次元寸法測長方式