コバヤシ タカシ   KOBAYASHI Takashi
  小林 隆
   所属   専修大学  ネットワーク情報学部
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1989/07/01
形態種別 研究論文(学術雑誌)
標題 半導体プロセス診断エキスパートシステム
執筆形態 単著
掲載誌名 情報処理学会論文誌、 Vol.30- No.7、情報処理学会