1.
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2023/08
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論文
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A Novel MEMS Actuator Driven with a Low DC Voltage Sensors and Materials 35(8),pp.2909-2932 (単著)
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2.
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2022/11
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論文
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A Robot Hand Remotely Controlled by Flex Sensor International Journal of Emerging Trends & Technology in Computer Science 11(6) (共著)
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3.
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2022/03
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論文
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Study on MEMS actuator driven with low DC voltage Bulletin of the Center for Integrated Nano Technology Support, Tohoku University Online (単著)
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4.
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2022/03
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論文
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Study on MEMS micromirror for LIDAR applications Bulletin of the Center for Integrated Nano Technology Support, Tohoku University Online (単著)
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5.
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2021/06
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論文
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Study on MEMS actuator driven with low DC voltage Bulletin of the Center for Integrated Nano Technology Support, Tohoku University Online (単著)
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6.
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2020/06
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論文
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Study on MEMS actuator driven with low DC voltage Bulletin of the Center for Integrated Nano Technology Support, Tohoku University Online (単著)
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7.
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2019/06
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論文
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Study on MEMS actuator driven with low DC voltage Bulletin of the Center for Integrated Nano Technology Support, Tohoku University Online (単著)
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8.
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2018/07
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論文
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Development of low-drive voltage RF-MEMS switch Bulletin of the Center for Integrated Nano Technology Support, Tohoku University Online (共著)
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9.
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2016/10
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論文
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A Low Drive Voltage RF-MEMS Switch Actuated by Comb-Drive Electrodes Proceedings of the Thirteenth International Conference on Flow Dynamics (共著)
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10.
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2015/10
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論文
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A Fundamental Study of Microchannels for Microfluidics Devices Based on 3D-Printer Technology Proceedings of the Twelfth International Conference on Flow Dynamics pp.804-805 (共著)
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11.
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2015/10
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論文
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Intelligent Robot Based on Aspirator Fan Manipulator Proceedings of the Twelfth International Conference on Flow Dynamics pp.750-751 (共著)
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12.
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2015/07
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論文
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A Double-Sided In-Plane Lateral Comb-Drive Actuator Fabricated by a Plaster-Based 3D-Printer Key Engineering Materials 656-657,pp.594-599 (共著)
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13.
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2015/07
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論文
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Advances of Computer Science Technology – Proposal of 3D-Electrode Structures Based on a Stereolithography-Based 3D-Printer – International Journal of Emerging Trends & Technology in Computer Science 4(4),pp.197-201 (共著)
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14.
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2015/07
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論文
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Research on SMEMS (Submilli-Electromechanical Systems) Device Based on 3D-Printers Japan Society for the Promotion of Science Acoustic Wave Device Technology 150th Committee 141,pp.25-30 (共著)
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15.
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2015/06
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論文
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A stereolithography-based 3D-printed torsional mirror scanner actuated by vertical comb-drive International Journal of Application or Innovation in Engineering & Management 4(6),pp.153-160 (共著)
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16.
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2015/02
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論文
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Characterization of an In-Plane Single-Sided Lateral Comb Actuator Fabricated by a 3D-Printer The Standard International Journals Special Annual Issue 2014 (Best Manuscript Publication) pp.45-50 (共著)
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17.
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2014/08
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論文
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A Double-Sided In-Plane Lateral Comb-Drive Actuator Fabricated by a Plaster-Based 3D-Printer Proceedings of the 2014 International Conference on Machining, Materials and Mechanical Technologies (共著)
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18.
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2014/07
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論文
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3D Printing Technology Evolution -Proposal of Sub-milli Electromechanical Systems (SMEMS) Technology Proceedings of the International Conference on Engineering and Applied Science 2014 pp.16 (単著)
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19.
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2014/05
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論文
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Characterization of an In-Plane Single-Sided Lateral Comb Actuator Fabricated by a 3D-Printer The Standard International Journals Transactions on Computer Science Engineering & its Applications 2(3),pp.82-87 (共著)
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20.
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2014/05
|
論文
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Design and Fabrication of an Electrostatically Actuated Parallel-Plate Mirror by 3D-Printer International Journal of Mechanical, Aerospace, Industrial and Mechatronics Engineering 8(5),pp.919-921 (共著)
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21.
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2014/05
|
論文
|
Design and Fabrication of an Electrostatically Actuated Parallel-Plate Mirror by 3D-Printer Proceedings of the International Conference on Electrical Engineering and Technology 2014 8(5),pp.1783-1785 (共著)
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22.
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2014/05
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論文
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Vertical Comb-drive Actuated Torsional SMEMS Mirror Fabricated by a Plaster-based 3D-printer Proceedings of the International Congress on Natural Sciences and Engineering 2014 pp.770-776 (共著)
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23.
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2014/03
|
論文
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A Fundamental Study of Sub-Millimeter Electro-Mechanical Systems (SMEMS) Structures Based on a 3D-Printer Proceedings of the International Symposium on Fundamental and Applied Sciences 2014 pp.1460-1462 (共著)
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24.
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2011/11
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論文
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Vacuum Package Method on Reflowing of Low-Melting Temperature Metal for MEMS Proc. 8th International Conference on Flow Dynamics (共著)
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25.
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2011/07
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論文
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Compact Slanted Comb Two-Axis Micro-Mirror Scanner Fabricated by Silicon-On-Insulator Micromachining J. Vac. Sci. Technol. B 29(4),42001/1-42001/7頁 (共著)
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26.
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2011/03/31
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その他
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[特許出願] 光スキャナ 出願日:2009/9/17, 公開番号または登録番号:特開2011-064964, 公開日または登録日:2011/3/31, 出願国:日本 (単著)
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27.
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2011/03/31
|
その他
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[特許出願] 光スキャナ 出願日:2009/9/17, 公開番号または登録番号:特開2011-064952, 公開日または登録日:2011/3/31, 出願国:日本 (単著)
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28.
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2010/09/17
|
その他
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[特許出願] 小型光走査装置 出願日:2005/10/26, 公開番号または登録番号:特許4589931, 公開日または登録日:2010/9/17, 出願国:日本 (共著)
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29.
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2010/08/26
|
その他
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[特許出願] 光走査によるファインダー表示機能を備えたカメラ 出願日:2009/2/10, 公開番号または登録番号:特開2010-185905, 公開日または登録日:2010/8/26, 出願国:日本 (共著)
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30.
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2010/08/12
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その他
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[特許出願] スキャナモジュールを備えたカメラ 出願日:2009/1/28, 公開番号または登録番号:特開2010-175677, 公開日または登録日:2010/8/12, 出願国:日本 (単著)
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31.
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2010/08/05
|
その他
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[特許出願] 光走査によるファインダー表示機能を備えたカメラ 出願日:2009/1/22, 公開番号または登録番号:特開2010-169849, 公開日または登録日:2010/8/5, 出願国:日本 (単著)
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32.
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2010/07/01
|
その他
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[特許出願] 内視鏡光学系 出願日:2008/12/22, 公開番号または登録番号:特開2010-142570, 公開日または登録日:2010/7/1, 出願国:日本 (単著)
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33.
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2010/06/18
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その他
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[特許出願] ヒンジ構造 出願日:2004/7/26, 公開番号または登録番号:特許4531470, 公開日または登録日:2010/6/18, 出願国:日本 (単著)
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34.
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2010/04/22
|
その他
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[特許出願] 光モジュールおよび光モジュールにおける位置決め方法 出願日:2008/10/7, 公開番号または登録番号:特開2010-091722, 公開日または登録日:2010/4/22, 出願国:日本 (共著)
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35.
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2010/04/08
|
その他
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[特許出願] 静電型アクチュエータ 出願日:2008/9/26, 公開番号または登録番号:特開2010-081758, 公開日または登録日:2010/4/8, 出願国:日本 (共著)
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36.
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2010/03/26
|
その他
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[特許出願] ヒンジ構造 出願日:2004/7/26, 公開番号または登録番号:特許4481756, 公開日または登録日:2010/3/26, 出願国:日本 (単著)
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37.
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2010/02/25
|
その他
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[特許出願] 光走査装置 出願日:2008/8/12, 公開番号または登録番号:特開2010-044214, 公開日または登録日:2010/2/25, 出願国:日本 (単著)
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38.
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2010/02/25
|
その他
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[特許出願] 光走査装置 出願日:2008/8/12, 公開番号または登録番号:特開2010-044209, 公開日または登録日:2010/2/25, 出願国:日本 (単著)
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39.
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2009/12/24
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その他
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[特許出願] 静電駆動型アクチュエータ 出願日:2008/6/13, 公開番号または登録番号:特開2009-303398, 公開日または登録日:2009/12/24, 出願国:日本 (単著)
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40.
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2009/12/24
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その他
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[特許出願] 静電駆動型アクチュエータ 出願日:2008/6/13, 公開番号または登録番号:特開2009-300787, 公開日または登録日:2009/12/24, 出願国:日本 (共著)
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41.
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2009/12/24
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その他
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[特許出願] 静電駆動型アクチュエータ 出願日:2008/6/16, 公開番号または登録番号:特開2009-300818, 公開日または登録日:2009/12/24, 出願国:日本 (共著)
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42.
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2009/12/24
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その他
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[特許出願] 静電駆動型アクチュエータ 出願日:2008/6/16, 公開番号または登録番号:特開2009-300812, 公開日または登録日:2009/12/24, 出願国:日本 (共著)
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43.
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2009/12/24
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その他
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[特許出願] 静電駆動型光スキャナ 出願日:2008/6/16, 公開番号または登録番号:特開2009-300817, 公開日または登録日:2009/12/24, 出願国:日本 (単著)
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44.
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2009/12/17
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その他
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[特許出願] 出願日:2008/6/6, 公開番号または登録番号:特開2009-294523, 公開日または登録日:2009/12/17, 出願国:日本 (単著)
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45.
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2009/12/17
|
その他
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[特許出願] Electrostatic actuator 出願日:2009/6/15, 公開番号または登録番号:US20090310201A1, 公開日または登録日:2009/12/17, 出願国:米国 (共著)
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46.
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2009/12/17
|
その他
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[特許出願] Electrostatic actuator 出願日:2009/6/15, 公開番号または登録番号:US20090310200A1, 公開日または登録日:2009/12/17, 出願国:米国 (共著)
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47.
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2009/12/17
|
その他
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[特許出願] 傾斜センサ 出願日:2008/6/6, 公開番号または登録番号:特開2009-294154, 公開日または登録日:2009/12/17, 出願国:日本 (単著)
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48.
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2009/12/17
|
その他
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[特許出願] 傾斜センサ 出願日:2008/6/6, 公開番号または登録番号:特開2009-294151, 公開日または登録日:2009/12/17, 出願国:日本 (単著)
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49.
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2009/12/10
|
その他
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[特許出願] 静電駆動型光スキャナ 出願日:2008/5/28, 公開番号または登録番号:特開2009-288427, 公開日または登録日:2009/12/10, 出願国:日本 (共著)
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50.
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2009/10/13
|
その他
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[特許出願] Optical scanner device 出願日:2008/12/19, 公開番号または登録番号:US7601949, 公開日または登録日:2009/10/13, 出願国:米国 (共著)
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51.
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2009/08/21
|
その他
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[特許出願] マイクロミラー装置 出願日:2004/1/20, 公開番号または登録番号:US6764229, 公開日または登録日:2009/8/21, 出願国:日本 (共著)
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52.
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2009/07/10
|
その他
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[特許出願] 共焦点プローブおよび共焦点顕微鏡 出願日:2003/2/24, 公開番号または登録番号:特許4338412, 公開日または登録日:2009/7/10, 出願国:日本 (単著)
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53.
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2009/06/04
|
その他
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[特許出願] マイクロデバイス製造方法、およびマイクロデバイス 出願日:2007/11/12, 公開番号または登録番号:特開2009-122155, 公開日または登録日:2009/6/4, 出願国:日本 (共著)
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54.
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2009/05/14
|
その他
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[特許出願] Micro-device and method for manufacturing the same 出願日:2008/11/12, 公開番号または登録番号:US20090122432A1, 公開日または登録日:2009/5/14, 出願国:米国 (共著)
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55.
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2009/04/30
|
その他
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[特許出願] マイクロミラー装置、およびミラー部形成方法 出願日:2007/10/12, 公開番号または登録番号:特開2009-093105, 公開日または登録日:2009/4/30, 出願国:日本 (共著)
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56.
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2009/03/19
|
その他
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[特許出願] 走査型共焦点プローブ 出願日:2003/2/24, 公開番号または登録番号:特許4278086, 公開日または登録日:2009/3/19, 出願国:日本 (単著)
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57.
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2009/02/20
|
その他
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[特許出願] 走査型共焦点プローブ 出願日:2003/2/24, 公開番号または登録番号:特許4261216, 公開日または登録日:2009/2/20, 出願国:日本 (単著)
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58.
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2009/01/20
|
その他
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[特許出願] Optical scanner device 出願日:2007/4/27, 公開番号または登録番号:US7479626, 公開日または登録日:2009/1/20, 出願国:日本 (共著)
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59.
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2008/12/05
|
その他
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[特許出願] ヒンジ構造 出願日:2004/1/27, 公開番号または登録番号:特許4227531, 公開日または登録日:2008/12/5, 出願国:日本 (単著)
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60.
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2008/07/29
|
その他
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[特許出願] Driving mechanism and micro-mirror device provided with the same 出願日:2005/8/11, 公開番号または登録番号:US7405506, 公開日または登録日:2008/7/29, 出願国:米国 (共著)
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61.
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2008/06/27
|
その他
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[特許出願] 走査型共焦点プローブ 出願日:2002/11/5, 公開番号または登録番号:特許4145627, 公開日または登録日:2008/6/27, 出願国:日本
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62.
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2008/06/20
|
その他
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[特許出願] 共焦点内視鏡 出願日:2002/11/5, 公開番号または登録番号:特許4142402, 公開日または登録日:2008/6/20, 出願国:日本 (単著)
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63.
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2008/04/15
|
その他
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[特許出願] Hinge structure of micromirror device 出願日:2005/7/25, 公開番号または登録番号:US6764229, 公開日または登録日:2008/4/15, 出願国:米国 (単著)
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64.
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2008/02/21
|
その他
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[特許出願] Micro-device and electrode forming method for the same 出願日:2007/4/11, 公開番号または登録番号:US20080043309A1, 公開日または登録日:2008/2/21, 出願国:米国 (共著)
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65.
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2007/11/01
|
その他
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[特許出願] マイクロミラー、及び、電極形成方法 出願日:2006/4/13, 公開番号または登録番号:特開2007-286172, 公開日または登録日:2007/11/1, 出願国:日本 (共著)
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66.
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2007/08/07
|
その他
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[特許出願] Confocal probe having scanning mirrors mounted to a transparent substrate in an optical path of the probe 出願日:2003/11/4, 公開番号または登録番号:US7252634, 公開日または登録日:2007/8/7, 出願国:米国 (単著)
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67.
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2007/05/29
|
その他
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[特許出願] Endoscope probe system having confocal optical systems 出願日:2004/1/20, 公開番号または登録番号:US7223232, 公開日または登録日:2007/5/29, 出願国:米国 (単著)
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68.
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2006/12/26
|
その他
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[特許出願] Confocal probe 出願日:2004/2/24, 公開番号または登録番号:US7154083, 公開日または登録日:2006/12/26, 出願国:米国 (単著)
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69.
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2006/10/03
|
その他
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[特許出願] Micromirror device 出願日:2006/3/13, 公開番号または登録番号:US7116465, 公開日または登録日:2006/10/3, 出願国:米国 (共著)
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70.
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2006/08/08
|
その他
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[特許出願] Hinge structure of micromirror device 出願日:2005/1/26, 公開番号または登録番号:US7088494, 公開日または登録日:2006/8/8, 出願国:米国 (単著)
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71.
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2006/07/27
|
その他
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[特許出願] Confocal probe and endoscope device 出願日:2006/3/9, 公開番号または登録番号:US20060167344A1, 公開日または登録日:2006/7/27, 出願国:米国
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72.
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2006/06/13
|
その他
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[特許出願] Confocal probe 出願日:2004/2/24, 公開番号または登録番号:US7061673, 公開日または登録日:2006/6/13, 出願国:米国 (単著)
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73.
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2006/05/09
|
その他
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[特許出願] Micromirror device 出願日:2005/1/19, 公開番号または登録番号:US7042621, 公開日または登録日:2006/5/9, 出願国:米国 (共著)
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74.
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2006/05/04
|
その他
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[特許出願] Small-type light scan device 出願日:2005/10/26, 公開番号または登録番号:WO06046592A1, 公開日または登録日:2006/5/4, 出願国:国際 (共著)
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75.
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2006/03/23
|
その他
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[特許出願] Gelenkkonstruktion für eine Mikrospiegelvorrichtung *** (単著)
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76.
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2006/02/23
|
その他
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[特許出願] 駆動機構、および該機構を備えたマイクロミラー装置 出願日:2004/8/12, 公開番号または登録番号:特開2006-053396, 公開日または登録日:2006/2/23, 出願国:日本 (共著)
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77.
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2005/09/29
|
その他
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[特許出願] Gelenkkonstruktion für eine Mikrospiegelvorrichtung *** (単著)
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78.
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2005/08/04
|
その他
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[特許出願] Mikrospiegelvorrichtung *** (共著)
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79.
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2005/06/09
|
その他
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[特許出願] 光ピンセットの機構、及び光ファイバ 出願日:2003/11/13, 公開番号または登録番号:特開2005-144281, 公開日または登録日:2005/6/9, 出願国:日本 (共著)
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80.
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2004/09/16
|
その他
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[特許出願] 走査型共焦点プローブ 出願日:2003/2/24, 公開番号または登録番号:特開2004-258143, 公開日または登録日:2004/9/16, 出願国:日本 (単著)
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81.
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2004/08/26
|
その他
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[特許出願] 実験チップ検出装置 出願日:2003/2/7, 公開番号または登録番号:特開2004-239809, 公開日または登録日:2004/8/26, 出願国:日本 (共著)
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82.
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2004/08/12
|
その他
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[特許出願] 内視鏡用プローブ 出願日:2003/1/21, 公開番号または登録番号:特開2004-222870, 公開日または登録日:2004/8/12, 出願国:日本 (単著)
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83.
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2004/08/05
|
その他
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[特許出願] 実験チップ及び実験チップの製造方法 出願日:2003/1/16, 公開番号または登録番号:特開2004-219308, 公開日または登録日:2004/8/5, 出願国:日本
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84.
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2004/08/05
|
その他
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[特許出願] 実験チップ及び実験チップの製造方法 出願日:2003/1/17, 公開番号または登録番号:特開2004-219370, 公開日または登録日:2004/8/5, 出願国:日本 (共著)
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85.
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2004/07/20
|
その他
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[特許出願] Method and apparatus for optical fiber splicing 出願日:2000/11/21, 公開番号または登録番号:US6764229, 公開日または登録日:2004/7/20, 出願国:米国
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86.
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2002/11/15
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その他
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[特許出願] マルチビーム・レーザ干渉計及び積層型光学素子 出願日:2001/5/2, 公開番号または登録番号:特開2002-328005, 公開日または登録日:2002/11/15, 出願国:日本 (共著)
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87.
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2002/06/21
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その他
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[特許出願] マルチビーム・レーザ干渉計 出願日:2000/12/5, 公開番号または登録番号:特開2002-174504, 公開日または登録日:2002/6/21, 出願国:日本 (共著)
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88.
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2001/07/11
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その他
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[特許出願] Optical fiber splicer, splicing method and splice structure *** (共著)
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89.
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2000
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論文
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A Bidirectional Optical Module Based on Stacked Planar Optical Circuit Jpn. J. Appl. Phys. 39(3B),1522-1528頁 (共著)
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90.
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2000
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論文
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Fundamental Study of Parallel Moduling Scheme Based on Micro-Optical Bench and Collimating Planar Microlenses Jpn. J. Appl. Phys. 39(3B),1542-1545頁 (共著)
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91.
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2000
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論文
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Two-Dimensional Alignment-Free Optical Interconnect using Micro Optical Bench Scheme Opt. Rev. 7(1),54-57頁 (共著)
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92.
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1999/07
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論文
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2-Dimensional Alignment-Free Optical Interconnect Using Micro Optical Bench (MOB) Scheme Dig. 7th Microoptics Conf. (共著)
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93.
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1999/07
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論文
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Bidirectional Optical Module Based on Stacked Optical Circuit Design Dig. 7th Microoptics Conf. (共著)
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94.
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1999/07
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論文
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Parallel and Bi-Directional Optical Interconnect Module Using Vertical Cavity Surface Emitting Lasers (VCSELs) and 3-D Micro Optical Bench (MOB) Proc. 1999 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings (共著)
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95.
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1999/05
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論文
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Bidirectional Optical Module Incorporating a Stacked Planar Optics Aligned on Micro Optical Bench (MOB) Technical Report of IEICE (共著)
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96.
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1999/02
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論文
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Alignment-Free Optical Coupling of 2-D Array Optical Devices Using Micro Optical Bench (MOB) Scheme Technical Report of IEICE (共著)
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97.
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1999
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著書
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面発光レーザの基礎と応用 先端光エレクトロニクスシリーズ, 共立出版(株) (共著)
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98.
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1999
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論文
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Micro Optical Bench for Alignment-Free Optical Coupling Appl. Opt. 38(6),963-965頁 (共著)
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99.
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1998/07
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論文
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A Micro Optical Bench for Alignment-Free Optical Coupling Proc. IEEE/LEOS Summer Topical Meetings (共著)
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100.
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1998/07
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論文
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An Optical Network Unit (ONU) Chip Based on Stacked Planar Optics Proc. 7th Topical Meeting on Optical Interference Coatings (共著)
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101.
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1998
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論文
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A Microoptic Network Unit Using Planar Microlens Array Opt. Rev. 5(1),1-3頁 (共著)
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102.
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1998
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論文
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An Optical Network Unit (ONU) Chip Based on Stacked Planar Optics Jpn. J. Appl. Phys. 37(6B),3723-3726頁 (共著)
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103.
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1997/10
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論文
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Micro Optical Bench Using Optical Microconnector Dig. 6th Microoptics Conf. (共著)
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104.
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1997/10
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論文
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Nonpolarizing Filters and Mirrors for Stacked Planar Optical Circuit Dig. 6th Microoptics Conf. (共著)
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105.
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1997/10
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論文
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Optical Network Unit (ONU) Chip Using Planar Microlens (PML) Array Dig. 6th Microoptics Conf. (共著)
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106.
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1997/10
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論文
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Radiation and Polarization Characteristics of a Ring Beam System Dig. 6th Microoptics Conf. (共著)
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107.
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1997/08
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論文
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Optical Dispersion Characteristics of Planar Microlenses Opt. Rev. 4(4),444-446頁 (共著)
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108.
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1997/05
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著書
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リングビームシステム (R.B.S.) の原理とその応用 OplusE Optics + Electronics (210) (共著)
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109.
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1997/01
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論文
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Self-Aligning Optical Interconnect Scheme Using Put-in Microconnector IEICE Trans. Electron. E80-C(1),139-143頁 (共著)
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110.
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1996/08
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論文
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Self-Aligning Optical Coupling Scheme Using Optical Microconnector Technical Report of IEICE (共著)
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111.
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1995/10
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論文
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Excess Loss Estimation in a Put-in Microconnector Dig. 5th Microoptics Conf. (共著)
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112.
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1995/06
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論文
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Self-Aligning Optical Interconnects Using Put-in Microconnector II Proc. 10th International Conf. on IOOC (共著)
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