ヤスダ　タカシ   Takashi Yasuda   安田　隆    所属   石巻専修大学  理工学部    職種   教授
発表年月日	2017
発表テーマ	分子プレカーサ−法によるβ-Ga2O3薄膜の作製
会議名	第78回応用物理学会秋期学術講演会
主催者	応用物理学会
学会区分	全国学会
開催地名	福岡
概要	概要 分子プレカーサGa原料を用いて,塗布法により,β-Ga2O3の高品質薄膜の作製を行った。