エハラ タカシ   Takashi Ehara
  惠原 貴志
   所属   石巻専修大学  人間学部
   職種   教授
発表年月日 2011/11
発表テーマ Silicon Oxide Thin Films Prepared by Vacuum Evaporation and Sputtering Using Silicon Monoxide
会議名 15th International Conference of Thin Films
主催者 ICTF
学会区分 国際学会
開催地名 Kyoto, Japan