エハラ タカシ
Takashi Ehara
惠原 貴志 所属 石巻専修大学 人間学部 職種 教授 |
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発表年月日 | 2011/11 |
発表テーマ | Silicon Oxide Thin Films Prepared by Vacuum Evaporation and Sputtering Using Silicon Monoxide |
会議名 | 15th International Conference of Thin Films |
主催者 | ICTF |
学会区分 | 国際学会 |
開催地名 | Kyoto, Japan |