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エハラ タカシ
Takashi Ehara
惠原 貴志 所属 石巻専修大学 理工学部 職種 教授 |
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| 発表年月日 | 2011/11 |
| 発表テーマ | Silicon Oxide Thin Films Prepared by Vacuum Evaporation and Sputtering Using Silicon Monoxide |
| 会議名 | 15th International Conference of Thin Films |
| 主催者 | ICTF |
| 学会区分 | 国際学会 |
| 開催地名 | Kyoto, Japan |