エハラ　タカシ   Takashi Ehara   惠原　貴志    所属   石巻専修大学  人間学部    職種   教授
発表年月日	2016/03
発表テーマ	CuAlO2ターゲットを用いたrfスパッタ法によるCuAlO2薄膜の成膜
会議名	日本セラミックス協会2016年年会
主催者	日本セラミックス協会
学会区分	全国学会
開催地名	東京