エハラ　タカシ   Takashi Ehara   惠原　貴志    所属   石巻専修大学  人間学部    職種   教授
発表年月日	2017/09/05
発表テーマ	CuとAlの反応性同時スパッタによるCuAlO2薄膜の作成
会議名	第78回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	単独
国名	日本
開催地名	福岡
開催期間	2017/09/05～2017/09/08