エハラ タカシ
Takashi Ehara
惠原 貴志
所属
石巻専修大学 人間学部
職種
教授
発表年月日
2017/03/15
発表テーマ
スパッタ法によるCuAlO2薄膜の成膜：ターゲット作成とスパッタリングによるターゲット表面の構造変化
会議名
第64回応用物理学会春季学術講演会
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
惠原 貴志、飯坂 涼、阿部 真理奈、阿部 清晃、佐藤 拓也