ミズノジュン   Mizuno Jun   水野　純    所属   石巻専修大学  理工学部    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2011/07
形態種別	研究論文（学術雑誌）
標題	Compact Slanted Comb Two-Axis Micro-Mirror Scanner Fabricated by Silicon-On-Insulator Micromachining
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Vac. Sci. Technol. B
巻・号・頁	29(4),42001/1-42001/7頁
総ページ数	7
著者・共著者	H. M. Chu, J. Mizuno, K. Hane and T. Takagi