ミズノジュン   Mizuno Jun   水野　純    所属   石巻専修大学  理工学部    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2009/04/30
形態種別	未選択
標題	[特許出願] マイクロミラー装置、およびミラー部形成方法
執筆形態	共著
掲載誌名	出願日:2007/10/12, 公開番号または登録番号:特開2009-093105, 公開日または登録日:2009/4/30, 出願国:日本
著者・共著者	発明者:菊地直樹, 伊藤栄一, 水野純
概要	出願人:HOYA(株)