エハラ　タカシ   Takashi Ehara   惠原　貴志    所属   石巻専修大学  理工学部    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000
形態種別	研究論文
査読	査読あり
標題	The Preparation and Structure of Unhydrogenated Microcrystalline Silicon Prepared by Sputtering Method
執筆形態	共著
掲載誌名	Mater. Lett.
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.223-227
総ページ数	5
担当区分	筆頭著者,責任著者