ミズノジュン   Mizuno Jun   水野　純    所属   石巻専修大学  理工学部    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2002/06/21
形態種別	未選択
標題	[特許出願] マルチビーム・レーザ干渉計
執筆形態	共著
掲載誌名	出願日:2000/12/5, 公開番号または登録番号:特開2002-174504, 公開日または登録日:2002/6/21, 出願国:日本
著者・共著者	発明者:伊賀健一、水野純ホジェリオ, 小栗正明
概要	出願人:(株)東京精密, (株)川口光学産業