エハラ　タカシ   Takashi Ehara   惠原　貴志    所属   石巻専修大学  理工学部    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2017
形態種別	研究論文
査読	査読あり
標題	Preparation of CuAlO2 Thin Films by Radio Frequency Magnetron Sputtering and the Effect of Sputtering on the Target Surface
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Ceram. Sci. Tech.
掲載区分	国外
巻・号・頁	08(01),pp.7-12
総ページ数	6
担当区分	筆頭著者
著者・共著者	T.Ehara, R.Iizaka, M.Abe, K.Abe, T.Sato